秀博瑞殷(西安)电子材料有限公司三星半导体制程用化学品生产项目扩建项目环评信息(二次公告)
根据《中华人民共和国环境影响评价法》和国家环保总局环发〔2006〕28号《环境影响评价公众参与暂行办法》文件精神,秀博瑞殷(西安)电子材料有限公司三星半导体制程用化学品生产项目扩建项目环境影响评价报告书已委托西安市环境保护科学研究院编制,现将该项目有关环境影响评价信息向公众公开,欢迎社会各界人士提出环境保护方面的宝贵意见。
一、建设项目的名称及概要
本项目总投资约为501万美元(约合RMB3074万元)。项目位于西安高新区三星城园区。本次扩建项目不单独建设厂房,仅在原101号生产厂房一层、二层内增设工艺装置及相应的配套设施。本次项目建设内容为一期基础上的改扩建,新增磷酸刻蚀液生产系统3套,新增LAL500刻蚀液2套,共计50台。仓库内新增WEA Etchant(灰白色金属膜蚀刻液)NOXIA-L Ⅱ(缓冲液)NOXIA-LⓇ (Ⅱ电解液)存储。
二、建设项目对环境可能造成影响的概述
项目环境影响主要为工业废气、废水及动力站等噪声对周围环境产生一定的影响。项目生产、储存过程中主要有害、有毒物质为氢氟酸、氟化铵、磷酸等。储罐、管道等设备物料泄漏,可能引发扩散污染事故或燃爆危害事故;生产系统失控,可能引发燃扩散污染事故。
三、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点
(1) 空气环境影响预测与评价
本项目产品生产,均为混合过滤过程,无化学反应。产生的废气主要为原辅料及产品挥发逸散废气。
①LAL500生产废气排放情况
本次LAL500生产依托原有生产设备与废气吸收装置,并增加LAL500储罐一个及其它辅助设备。在NH4F生产及转运时会有极少量分解成NH3和HF。调整罐混合过程中及分析实验时产生NH3和HF废气,废气经全部收集后排入1号水喷淋塔吸收处理,处理达标后经P1排气筒排放。项目HF储罐、NH4F储罐均采用氮气密封措施,储罐所排废气经罐顶管道排入2号水喷淋塔吸收处理。原辅料及产品分装转存时产生NH3和HF废气。分装时在密闭操作间内操作,内设集气装置,废气经全部收集后排入2号水喷淋塔吸收处理,处理达标后经27m高P2排气筒排放。排气筒P1与排气筒P2相距5m,内径均为0.5m,风机风量均为9000m3/h。
②HSN生产废气排放情况
本次项目新建HSN生产线,在生产过程中,调整罐混合过程中、转运及存储时会有极少量的H3PO4废气。调整罐混合过程中产生的H3PO4废气经管道排入3号水喷淋塔吸收处理。项目H3PO4储罐均采用氮气密封措施,储罐所排废气经罐顶管道排入3号水喷淋塔吸收处理。原辅料及产品分装转存装时在密闭操作间内操作,内设集气装置,废气经全部收集后排入3号水喷淋塔吸收处理,处理达标后经27m P3排气筒排放。P3排气筒内径为0.5m,风机风量为9000m3/h。
项目针对各种工艺废气所选治理方法都是一些通用、成熟方法,在实际生产中应用多年;反应原理明确,处理效率较高,能满足达标排放要求。
(2) 水环境影响评价结论
本项目为废水主要为吸收塔废水,分析室废水、生活污水等。生活污水经化粪池处理,与生产废水经收集池收集后通过管网排入三星污水处理站,三星尚有容量接纳本项目废水。项目综合排水水质满足三星污水处理站进水水质要求。项目生产废水经三星公司污水处理站处理达标后排入高新区污水管网最终排入高新区第二污水处理厂。
(3) 噪声防治措施
项目将强噪声源—空压机和真空泵等均布置在密闭的厂房内,采取了较严密的降噪措施;对于设置在屋顶的冷却塔、通风机等,均采取了相应的减振、消声措施。经上述措施处理后,可满足标准要求,对周边环境影响较小。
(4) 固体废物处置措施
生产企业在生产过程中产生的废物,通常包括危险固废和生活垃圾。对废物处置采取的原则是:废物由专人负责,分类收集、存放,按废物类型和性质分别处置。
危险废物主要为过滤网、员工穿戴的衣服手套以及清洗地面的抹布等,收集后贮存于厂房设置的贮存间。生活垃圾主要来自于职工日常生活过程中产生的垃圾。经分类收集后,危险废物交由有资质的单位处理,生活垃圾由环卫部门统一收集处置。
(5)环境风险分析及防范措施
制定危险化学品运输、操作、贮存的管理制度,并单独存放设置安全距离编制《安全生产事故应急预案》,设立应急组织体系、定期进行预案培训与演练;项目使用较多的危险化学品,仓储区应设置围堰和做好防渗;生产过程产生废水较多,应设置事故池,其容积为771.4m3。
四、环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点
随着国家在各个方面的发展,我国对各种化学试剂的需求量日益增加,该项目能为市场提供高质量的产品,符合市场经济的要求。根据《产业政策调整指导目录(2011年本)》,本项目不属于淘汰类项目,根据我国《外商投资产业指导目录(2011年修订)》中的相关规定,本项目不属于其中得限制类和禁止类,符合相关规定。从以上的分析情况看,本项目符合西安市的相关环保政策。本项目各种污染物均得到妥善处置,各项污染物均可达标排放,本次项目从环保角度考虑可行。
五、联系方式及公众参与
(2)建设项目建设单位的名称和联系方式
建设单位:秀博瑞殷(西安)电子材料有限公司
联系电话:18602951285 联系人:李工
(3)承担评价工作的环境影响评价机构的名称和联系方式
环评单位:西安市环境保护科学研究院
地址:西安市曲江新区雁南五路
联系电话:029-89131013 联系人:董工
(3)征求公众意见的主要事项
公众参与主要是请项目附近公众从环保角度对本工程发表自己的意见和建议。目的在于收集、征询项目所在评价区内公众对项目建设的意见、要求和建议,做好环境保护工作,并将公众意见归纳呈环保行政主管部门,供审批项目时参考。
(4)公众提出意见的主要方式
公众可以通过以下方式对本项目的建设提出自己的意见和见解,并请留下自己的真实姓名、年龄、职业、联系方式,以便对您关心的问题和意见做出解释和说明。具体方式如下:
① 填写公众参与意见征询表;
② 给评价单位发电子邮件或打电话;
③ 给建设单位打电话。
公众可在本项目公示之日起10个工作日内,向建设单位或环评单位提出宝贵意见。