“战略性先进电子材料”重点专项“高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片研发”项目中期检查在乌鲁木齐进行

　　近日，“战略性先进电子材料”重点专项管理办公室（简称“专项办”）组织专家在新疆乌鲁木齐“高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片研发”项目进行中期检查。专项办有关人员，项目责任专家、同行专家和财务专家，电子科技大学、中国科学院新疆理化技术研究所、中国电子科技集团第二十六研究所等单位的项目及课题负责人、课题研究骨干等共50余人参加了会议。
　　本项目的主要目标是针对传感技术发展对器件小型化、集成化、智能化的迫切需求，研究高性能无源敏感薄膜材料、传感器与集成电路可兼容三维集成等关键技术，建立影响敏感材料和器件性能的多物理场耦合模型，突破硅基晶圆上无源敏感薄膜及器件的可控制备技术，研制出磁阻、气体、海洋测温传感器等传感器芯片，促进传感技术在工业控制、海洋水文、安全生产等领域的应用。
　　会议认为，该项目完成了任务书的中期预定目标，在晶圆级薄膜异质生长、离子注入剥离，单晶薄膜微细加工与器件集成，传感器芯片设计与生产等方面取得了重要进展。会议建议围绕指标相关性和系统性，进一步完善测试方案和方法，形成指标测试标准，开展专项项目之间学术交流活动。